在電子、電鍍行業生產過程中，每個工段生產流程的差異，對純水的品質要求也不同，選擇的純化水設備也不相同。純水分級中最關鍵的指標是電導率(電阻率)；根據電阻率的不同，可分為去離子水、蒸餾水、純水、超純水、電子級超純水。
電子級超純水設備，不僅需要將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的。根據超純水中電阻率、硅、細菌數、顆粒度等指標情況，將超純水分為以下幾個級別：
中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準（超鏈接）
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EW-I |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
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電阻率 MΩ﹒cm(25℃) |
18以上 (95N時間) 不低于17 |
15 (95N時間) 不低于13 |
12.0
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0.5
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全硅，最大值，µg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
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>1µm微粒數，最大值，個/mL |
0.01 |
5 |
10 |
500 |
|
細菌個數，最大值，個/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
|
銅,最大值，µg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
|
鋅，最大值，ug/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
|
鎳，最大值．µg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
|
鈉．最大值，µg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
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鉀，最大值．ug/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
|
氯，最大值．ug/L |
l |
l |
10 |
1000 |
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硝酸根，最大值，ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
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磷酸根，最大值．ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
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硫酸根，最大值,ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
總有機碳，最大值，ug/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
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